◉ 해당 장비:
1. Cs-TEM
2. Cs-STEM
3. FE SEM
4. FE EPMA
1. Cs corrected TEM (Image Corrector: Cs-TEM) 장비가 신규 도입되어 아래와 같이 분석서비스를 개시합니다.
- 2015년 11월 1일 부터 학내 시험서비스 실시하였고, 계속해서 12월 1일부터 학외 및 산업체 대상으로 확대해서 실시합니다. 여러분들의 많은 이용을 바랍니다.
*단, 공식서비스 운영을 위한 준비기간으로 사전상담을 통한 서비스 실시
- 2016년 1월 4일 부터 학내·외 및 산업체 대상 공식서비스 실시 (예정)
본 장비는 Objective lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 냉음극 전계방사형 원자분해능 투과전자현미경 (Transmission electron microscope：TEM)으로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 가 장착되어 미세영역의 결정구조, 원자배열 그리고 화학성분 등을 분석할 수 있다. 많은 이용을 바라며 상세한 사항은 Cs-TEM 공지사항을 참고 해주세요.
| 사용료(hr) | Cs-TEM |
| 분석지원 | 연수자 |
| TEM | 220,000 | 180,000 |
| STEM | 270,000 | 220,000 |
| EDS | 270,000 | 220,000 |
| 외부 연구소 및 산업체 | 200% |
2. Cs corrected STEM (Probe Corrector: Cs-STEM) 장비가 신규 도입되어 아래와 같이 분석서비스를 개시합니다.
- 2015년 11월 1일 부터 학내 시험서비스 실시하였고, 계속해서 12월 1일부터 학외 및 산업체 대상으로 확대해서 실시합니다. 여러분들의 많은 이용을 바랍니다.
*단, 공식서비스 운영을 위한 준비기간으로 사전상담을 통한 서비스 실시
- 2016년 1월 4일 부터 학내·외 및 산업체 대상 공식서비스 실시 (예정)
본 장비는 Condenser lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 냉음극 전계방사형 원자분해능 주사투과전자현미경 (Scanning transmission electron microscope : STEM)으로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 와 EELS (Electron energy-loss spectroscopy) 가 장착되어 미세영역의 결정구조, 원자배열, 화학성분 그리고 전자결합 상태 등을 분석할 수 있습니다. 많은 이용을 바라며 상세한 사항은 Cs-STEM 공지사항을 참고 해주세요.
| 사용료(hr) | Cs-STEM |
| 분석지원 | 연수자 |
| TEM | 220,000 | 180,000 |
| STEM | 300,000 | 250,000 |
| EDS | 300,000 | 250,000 |
| EELS | 300,000 | 250,000 |
| 외부 연구소 및 산업체 | 200% |
3. 전계방사 주사전자현미경 （Field Emission Scanning Electron Microscope: FE SEM）장비가 신규 도입되어
2015년 11월 1일 부터 분석서비스를 개시합니다. 본 장비는 Super Hybrid lens 및 In-lens Schottky plus field emission electron gun 이 장착되어 시료의 Damage를 줄일 수 있는 약 1KeV 저가속 전압 조건에서도 높은 Resolution을 구현하는 장비로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 도 장착되어 미세 영역의 영상, 화학성분 분석이 가능합니다. 많은 이용을 바라며 상세한 사항은 FE SEM (JSM-7800F Prime) 공지사항을 참고 해주세요.
ㆍ FE-SEM 사용료: 80,000/h(SEM)+15,000원/시료 (EDS 추가 사용시)
ㆍ Pt coating: 20,000원(회)
ㆍ 외부 연구소 및 산업체: 200%
4. 전계방사 전자현미분석기（Field Emission Electron Probe Microanalyzer : FE EPMA）가 신규 도입되어
2015년 11월 1일 부터 분석서비스를 개시합니다. FE EPMA는 광물학, 암석학, 고체물리학, 금속학, 무기재료학, 치학 등에서 사용되는 고체시료의 화학조성을 알아낼 수 있는 장비로서, Be4 에서부터 U92 에 이르기까지 거의 모든 원소의 측정이 가능합니다. 특히, 본 장비는 Schottky type field emission electron gun이 장착되어 있어 높고 안정적인 Probe current 인가가 가능하고, 고배율 분석과 미소 영역에 대한 고정밀 정량분석이 가능합니다. 많은 이용을 바라며 상세한 사항은 FE EPMA 공지사항을 참고 해주세요.
ㆍ 사용료: 80,000원/시간
ㆍ Carbon coating: 10,000원/회
ㆍ 외부 연구소 및 산업체: 200%