| 구분 | 세부내역 | 분석지원 | 비고 |
| 기본료 | 진공 및 전처리 | 50,000원/시료 6개 | 시료 최대 6개 단위 |
| Surface Analysis (표면분석) | 시료당 1포인트 | 50,000원/시료 | |
| 2D Mapping(이미지 매핑) | 시료당 1포인트 | 50,000원/시료 | Low resolution (256*256 pixel) |
| 2D Mapping(이미지 매핑) | 시료당 1포인트 | 100,000원/시료 | High resolution(512*512 pixel 이상), Large area Mapping |
| Depth Profile(깊이 분포 분석) | 시료당 1포인트 | 150,000원/시료 | 1시간 초과시 별도 사용료 추가 : 150,000원/시간 |
| Top Mounting sample holder 사용 | 건 | 100,000원/건 | Transfer shuttle 사용시에도 적용 |
| 표면 분석 시 etching | 건 | 100,000원/건 | Surface 분석 시 추가 옵션 |
| 3D rendering | 건 | 100,000원/건 | Depth profile 실험 후 결과에 대한 추가 processing 작업, 기타 데이터 처리를 위한 추가 프로그램 사용 시 청구 (1시간 사용 기준) |
※ 외부 연구소 및 산업체 : 기준수가의 200% 적용
※ 2D Mapping 실험의 경우 분석시간이 1시간이 초과될 경우 분석료가 추가됩니다.
※ 샘플 준비 시 주의사항:
- 분석 시 초고진공을 유지하며 최적 성능을 발현하기 위하여 예약일 기준 1일전까지 샘플이 접수되어야 함
- 시료크기 1cm X 1cm ~ 1.4cm X 1.4cm (가로 X 세로), 두께는 0.5cm 이하의 크기가 적합
- WET 및 Solvent에 닿았던 시료는 반드시 진공오븐에서 건조 후 준비