| 실험 종류 | 사용료 | |
| XPS | Normal | 80,000원/시료, 40,000원/초과 30분 |
| Small area 분석(분석 영역 - 110, 55µm) | 100,000원/시간 | |
| Small area 분석(분석 영역 – 27µm, 15µm) | 200,000원/시간 | |
| Depth Profile | 240,000원/시료, 60,000원/초과 1시간 | |
| Depth Profile (Ar Cluster 사용) | 340,000원/시료, 60,000원/초과 1시간 | |
| Angle resolved XPS | 240,000원/시료, 60,000원/초과 1시간 | |
| Imaging XPS | 200,000원/시간 | |
| Interface XPS | 120,000원/시간 | |
| UPS | Normal | 100,000원/시료 |
| Depth Profile | 200,000원/시료, 50,000원/초과 1시간 | |
| AES | Normal | 100,000원/시료, 50,000원/초과 30분 |
| Depth Profile | 250,000원/시료, 50,000원/초과 1시간 | |
| Depth Profile (Ar Cluster 사용) | 350,000원/시료, 50,000원/초과 1시간 | |
| 기타 | data curve fitting | 5,000원/원소 |
| 표면 cleaning | 20,000원/회 | |
| 원소추가-Normal | 10,000원/원소 | |
| 원소추가-Depth Profile, ARXPS | 60,000원/원소 | |
| ※ 분석 원소 수의 제한 – Depth Profile 실험은 원소 3개까지, 나머지 실험방법은 원소 5개까지 제한이 있습니다. ※ 대학은 기준수가 적용, 외부 연구소 및 산업체는 기준수가의 200%를 적용합니다. |
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