원리 및 기능
전계방출주사전자현미경(FE-SEM, Field Emission Scanning Electron Microscope) 및 집속이온빔(FIB, Focused Ion Beam) 2개의 gun column으로 구성되어 시료를 FIB로 식각하면서 분석할 수 있을 뿐만 아니라 투과전자현미경(TEM) 샘플 제작이 가능하다.
기기활용
1) 재료 내부 구조 분석 : 금속 석출상, 개재물 등 분포 분석
2) 금속/세라믹/전자/분말 소재의 투과전자현미경(TEM) 샘플 제작
3) 품질 문제 대응 및 신소재, 신기술 분야 재료 미세 구조 분석
사양
○ SEM Resolution
- 0.6nm at 2kV to 15kV
- 0.7 nm at 1 kV
- 1.0 nm at 500V
○ Phoenix Ion Column
-Acceleration Voltage : 500V-30kV
○ Probe current
- E-beam: 0.8 pA-100 nA
- I-beam: 0.1 pA - 65 nA