원리 및 기능
JEM-F200은 다목적 분석활용을 위해 공간분해능과 분석성능이 향상되고 사용자 중심의 통합 제어 시스템을 겸비한 High Resolution 전계방사형 투과전자현미경이다.
부가 기능으로 TEM, STEM의 3차원 이미지(Tomography) 구현이 가능하며, 2개 대구경(Φ:100mm2) 듀얼 실리콘 드리프트 검출기(SDD)가 설치되어 고감도로 신속하고 빠른 EDS 분석(X-ray analysis with higher sensitivity and throughput) 뿐만아니라, 3차원 EDS 이미지 (EDS-Tomography) 취득도 가능하다.
기기활용
(1) 각종물질 (Hard, Soft & Hybrid materials) 의 미세영역에서 형상, 형태관찰
(2) 내부구조 (결함, 전위), 결정구조, 원자배열
(3) 화학조성, 원소분석 (정량, 정성, mapping)
(4) 3차원 TEM, STEM image 및 3차원 EDS mapping
사양
1. Thermal (Schottky type) Field Emission Gun TEM
2. Specifications
1) HT: 80, 200 kV
2) Magnification: x20 to x2.0M (TEM) / x200 to 150M (STEM)
3) Resolution
- TEM mode: Lattice 0.10nm/ Point 0.23nm
- STEM mode: 0.16nm
4) Sample tilting
- X / Y: ± 35° / ± 35° (Tomography ± 70°)
3. Analysis functions
1) CCD Camera : OneView camera (25 fps at full 4k x 4k resolution)
2) EDS: JEOL Dual SDD Type (Φ: 100mm2, Solid angle: 1.7sr)
3) Tomography