원리 및 기능
JSM-7800F Prime은 Super Hybrid lens 및 In-lens Schottky plus field emission electron gun이 장착되어 시료의 Damage를 줄일 수 있는 약 1KeV 저가속전압 조건에서도 높은 Resolution을 구현하는 장비로 미세 영역의 영상, 화학성분 분석이 가능하다. JSM-7800F Prime은 LED, UED, USD, BED등 4개의 detector를 이용하여 다양한 이미지를 구현할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면 성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.
기기활용
(1) Hard, Soft, Hybrid materials 등 각종 물질의 미세 영역 표면 관찰
(2) Electron channeling contrast
(3) 화학조성 및 원소분석 (정량, 정성, mapping)
사양
1) Resolution
- 15 kV : 0.7 nm
- 1 kV : 0.7 nm
- 5 kV, 5nA : 3.0 nm
2) Probe current
- 30 kV : 500nA
- 2 kV : 20 nA
3) Magnification : x25 to x1,000,000
4) Accel.voltage : 0.01kV ~ 30kV
5) Electron gun : In-lens Schottky plus field emission electron gun
6) Objective lens : Super hybrid lens
7) Specimen stage
- X axis : 70 mm
- Y axis : 50 mm
- Z axis : 2 mm to 41mm
- Tilt : -5° to +70°
- Rotation : 360°
8) Detector : LED, UED, USD, BED
9) EDS : SDD Type (Active area 80mm2)