원리 및 기능
FE-EPMA는 광물학, 암석학, 고체물리학, 금속학, 무기재료학, 치학 등에서 사용되는 고체시료의 화학조성을 알아낼 수 있는 장비로서, Be4에서부터 U92에 이르기까지 거의 모든 원소의 측정이 가능하다. 특히, 본 장비는 Schottky type field emission electron gun이 장착되어 있어 높고 안정적인 Probe current 인가가 가능하고, 고배율 분석과 미소 영역에 대한 고정밀 정량분석이 가능하다.
전자현미분석기는 가속화된 전자빔을 시료에 충돌시켜서 이때 발생되는 특성 X-선의 스펙트럼을 측정한 뒤, 이 값을 표준시료에서 측정된 값과 비교하여 원소의 함량을 결정한다. 비파괴분석이라는 장점이 있으며, SEI, BEI 검출기가 달려있기 때문에 샘플표면을 관찰할 수 있고, 점분석 외에도 선분석, 면분석이 가능하다.
기기활용
금속, 반도체, 암석, 광물 등 각종 고체물질의 미세영역에서
(1) 고도 정밀 화학조성 분석
(2) 극 미량 조성, 원소분석(정량, 정성, mapping)을 한다.
사양
● Detectable element range : Be4 to U92
● Detectable X-ray range
- Detectable wavelength range with WDS : 0.087 to 9.3 nm
- Detectable energy range with EDS : 20 keV
● Number of spectrometers : 5 WDS, 1 EDS
● Maximum specimen size : 100 mm X 100 mm X 50 mm(H)
● Probe current : 10-12 to 5 X 10-7A
● Probe current stability : ± 0.3 %/h
● SE image resolution : 3.0 nm at 30 kV
● Magnification : X40 to X300,000
● Accelerating voltage : 1 to 30 kV
● Ananlysis functions : EDS (SDD type)
● Cathodoluminescence system (Monochromatic type)