원리 및 기능
Cs-TEM은 Objective lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 냉음극 전계방사형(Cold FEG) 원자분해능 투과전자현미경 (Transmission tlectron microscope : TEM) 으로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 가 장착되어 미세영역의 결정구조, 원자배열 그리고 화학조성 등을 분석할 수 있다.
기기활용
(1) 각종물질 (Hard, Soft & Hybrid materials) 의 미세영역에서 형상, 형태관찰
(2) 내부구조 (결함, 전위), 결정구조, 원자배열
(3) 화학조성, 원소분석 (정량, 정성, Mapping)
사양
1. Cs corrected TEM (Image Corrector)
2. Specifications
1) HT : 60, 80, 120, 200 kV
2) Magnification: 50 to 2,000,000 X (TEM), 200 to 1,500,000 X (STEM)
3) Resolution
- TEM mode: Lattice 0.07nm/ Point 0.11nm
- STEM mode: 0.136nm
4) Sample tilting
- X / Y : ± 25° / ± 25°
3. Analysis functions
1) CCD Camera
- OneView camera (25 fps at full 4k x 4k resolution)
- Orius SC200D camera (2k x 2k resolution)
2) EDS : SDD Type (Active area 100mm²/ Solid angle 0.7 sr)