원리 및 기능
X선 회절현상은 X-선이 원자의 전자들에 의해 산란되는 과정으로 설명되는데 즉 Bragg법칙이나 Laue방정식을 만족하는 어떤 특정한 기하학적 조건에서 산란이 될 때만 회절빔이 생기게 되며 이러한 회절현상의 분석을 통하여 물질의 단위구조크기, 구조, 방향 등의 정보를 알아낼 수 있다. 본 장비는 주로 박막 시료에 대한 결정구조의 정밀분석, 에피층의 구조분석 특성, 반사측정을 통한 단/다층 박막의 밀도, 거칠기 및 두께 분석 등에 활용된다.
기기활용
- 격자상수 변화에 대한 분포 - ω/2theta scan
- 결정의 배향성, 결정성 -ω scan
- X-선 반사를 이용한 박막의 두께, 거칠기 및 밀도 측정
사양
-제작사: Rigaku
-모델명: SmartLab
- X-ray generator : 9kW (Cu target)
- Theta-Theta goniometer with horizontal sample mounting
- CBO Optics
- Ge(220) 2-bounce monochrometer
- Ge(220) 4-bounce monochrometer
- Detector : HyPix-3000
- Application Software : PDXL
- ICDD Database PDF-2